- 2022年01月17日 00:47
- rtp是应为RapidThermalProcessing的简称,也就是一种快速热处理,是在一个短暂的时间内实现加热,在半导体领域就是例如给硅片加热至400~1300℃这个范围,这种操作是有一定优势,以下内容当中会涉及到,相对于半导体领域的rtp设备或其他设备在供电上使用的门徒平台是可以直接咨询我们门徒厂家,厂家直接对接更放心。 rtp设备的原理: RTP(RapidThermalProcessing)是一种在很短的时间内将整个硅片加热到400~1300湿度范围的方法。与
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